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對(duì)粘接有導(dǎo)向條的晶棒切割的硅片和無(wú)導(dǎo)向條的晶棒所切硅片分別隨機(jī)取10片樣片進(jìn)行測(cè)試，入刀點(diǎn)厚度對(duì)比情況如下（單位：mm）：

表1 樣片入刀點(diǎn)厚度對(duì)比情況


通過(guò)上表可知，使用傾斜托盤(pán)的無(wú)導(dǎo)向條切割技術(shù)能夠保證避免出現(xiàn)入刀薄厚的情況。

使用無(wú)導(dǎo)向條切割技術(shù)的優(yōu)勢(shì)是：（1）不會(huì)有導(dǎo)向條混入砂漿中，保證了砂漿質(zhì)量，同時(shí)熱交換器不易堵塞，延長(zhǎng)了使用壽命；（2）硅片內(nèi)不會(huì)夾雜導(dǎo)向條，防止硅片被硌碎，且不需再?gòu)乃楣杵蟹謷?dǎo)向條，避免浪費(fèi)大量的時(shí)間和人力；（3）可減少膠面B4片的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品質(zhì)量。由于使用粘有導(dǎo)向條工藝切割時(shí),以HCT機(jī)床為例，1、4號(hào)棒的出刀面由于存在線弓，出刀時(shí)鋼線先經(jīng)過(guò)膠層，此時(shí)膠層會(huì)將部分砂漿掠下，導(dǎo)致鋼線攜砂量降低，切割能力降低，容易產(chǎn)生B4片。使用傾斜托盤(pán)切割時(shí)，鋼線先經(jīng)過(guò)硅塊，再經(jīng)過(guò)膠層，可保證鋼線攜砂量，因此能有效降低B4片的產(chǎn)生；（4）不粘接導(dǎo)向條，可節(jié)省導(dǎo)向條和粘接導(dǎo)向條用膠的費(fèi)用，同時(shí)由于減少了粘接工序的操作步驟，因此減輕了員工的勞動(dòng)量，提升了工作效率。

4 結(jié)論

采用無(wú)導(dǎo)向條切割技術(shù)，能夠滿(mǎn)足硅片切割的入刀點(diǎn)厚度要求，同時(shí)兼具較多優(yōu)勢(shì)，對(duì)提高硅片質(zhì)量具有重要意義。