比利時(shí)納米科技研究所Imec宣布其使用新工藝開發(fā)的 i-PERC型硅基太陽能電池已達(dá)到20.2%的轉(zhuǎn)換效率。據(jù)Imec稱,這一結(jié)果主要得益于一種新的鋁氧化物(Al2O3)原子層沉積(ALD)激光摻雜技術(shù)工藝流程。
這種新工藝使用鋁板背表面場(chǎng)(BSF)與鎳銅涂層構(gòu)成電極,此舉簡化了需要通過激發(fā)形成BSF的過程,并為金屬化過程提供了更低的溫度許可。據(jù)該機(jī)構(gòu)稱,降低溫度是Imec提高i-Perc效率的關(guān)鍵因素。