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編者按：創(chuàng)建綠色工廠是推動制造業(yè)綠色轉(zhuǎn)型升級、實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的重要手段。為進一步發(fā)揮標準的規(guī)范引領作用，將電子行業(yè)綠色工廠創(chuàng)建行動引向深入，在工業(yè)和信息化部的指導下，中國電子技術標準化研究院、全國綠色工廠推進聯(lián)盟牽頭編制了《微型計算機制造業(yè)綠色工廠評價要求》（T/CESA 1088-2020）等18項電子行業(yè)綠色工廠評價標準。本批標準在《綠色工廠評價通則》（GB/T 36132-2018）、《電子信息制造業(yè)綠色工廠評價導則》（SJ/T 11744-2019）框架下，突出行業(yè)和產(chǎn)品特點，進一步明確了評價原則、評價方法、評價指標體系、評價具體要求、評價程序和評價報告等相關技術內(nèi)容，為電子制造業(yè)綠色工廠創(chuàng)建和評價提供了標準依據(jù)。為幫助相關企業(yè)和機構準確應用標準，現(xiàn)對部分標準進行解讀，供參考借鑒。

電子行業(yè)綠色工廠標準解讀之一：多晶硅制造業(yè)綠色工廠評價要求

多晶硅是由一種硅源氣體經(jīng)化學氣相沉積生成的結(jié)構上具有大角度晶粒間界、孿晶間界或兩種結(jié)構兼有的硅多晶,多晶硅是一種生產(chǎn)使用量大面廣的半導體電子原材料，在光伏行業(yè)、集成電路制造等領域中發(fā)揮著重要基礎作用?！抖嗑Ч柚圃鞓I(yè)綠色工廠評價要求》（T/CESA 1082-2020）（以下簡稱“本標準”）規(guī)定了多晶硅制造業(yè)綠色工廠評價的原則、方法、指標體系及要求、程序和報告等，適用于對運用三氯氫硅法和硅烷法生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的工廠進行評價，運用其他工藝方法的工廠可參照使用。

本標準圍繞《綠色工廠評價通則》（GB/T 36132）及《電子信息制造業(yè)綠色工廠評價導則》（SJ/T 11744）中規(guī)定的基本要求，以及基礎設施、管理體系、能源資源投入、產(chǎn)品、環(huán)境排放、績效等6個一級指標展開，充分考慮多晶硅產(chǎn)品制造業(yè)的特征特性，進一步細化了27個二級指標，涉及103個具體要求。如，工廠使用的多晶硅還原爐等專用設備應符合產(chǎn)業(yè)準入要求，降低能源與資源消耗，減少污染物排放；工廠應投入與副產(chǎn)物四氯化硅處理量相匹配的冷氫化裝置，使副產(chǎn)物四氯化硅得到有效處理，并投入適宜的其他污染物處理設備，以確保其污染物排放達到相關法律法規(guī)及標準要求；工廠應在多晶硅產(chǎn)品設計中引入生態(tài)設計的理念，宜按照《綠色設計產(chǎn)品評價技術規(guī)范 多晶硅》（T/CNIA 0021）開展綠色設計產(chǎn)品評價；工廠生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)應滿足《電子級多晶硅》（GB/T 12963）或《太陽能級多晶硅》（GB/T 25074）等規(guī)定的技術要求等。

為保證評價工作可操作性，本標準對“用地集約化、原料無害化、生產(chǎn)潔凈化、廢物資源化、能源低碳化”5項綠色工廠績效指標進行細化和分級，將多晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)制造工廠的綠色績效水平分為3個級別，并給出不同績效水平對應的指標要求和評價得分。如，明確多晶硅制造業(yè)“廢物資源化”對應的“單位產(chǎn)品硅粉用量”指標要求分別為≤1.1t/t（1級）、≤1.2t/t（2級）、≤1.4t/t（3級）；“能源低碳化”對應的“單位產(chǎn)品綜合能耗”指標要求分別為≤11.5tce/t（1級）、≤12tce/t（2級）、≤13tce/t（3級）等。

亞洲硅業(yè)（青海）、新特能源、內(nèi)蒙古通威等企業(yè)參與了本標準的研制和驗證。


原標題： 電子行業(yè)綠色工廠標準解讀之一：多晶硅制造業(yè)綠色工廠評價要求