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2 槽型

目前線鋸機(jī)床常使用的導(dǎo)輪槽型為V型槽，角度為40°- 80°，槽深為180μm-250μm，但由于V型槽底部尺寸不易控制且形狀不規(guī)則，開(kāi)始時(shí)鋼線不能到達(dá)槽底部，而是卡在中間，切割過(guò)程中，隨著鋼線在槽內(nèi)高速運(yùn)轉(zhuǎn)，由于摩擦作用，導(dǎo)輪槽底部磨損較快。當(dāng)鋼線在V型槽內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，鋼線也易在槽內(nèi)左右晃動(dòng)，鋼線跳動(dòng)嚴(yán)重時(shí)，甚至跳出所在V型槽內(nèi)到另外一個(gè)V型槽內(nèi)，造成張力不穩(wěn)，切割出不合格的硅片，例如厚度偏差片、TTV超差片及鋸痕不合格片。由于V型槽導(dǎo)輪槽磨損較快，使用壽命較短，需要經(jīng)常更換導(dǎo)輪，這會(huì)影響產(chǎn)能。

目前有一種新槽型是將圖1所示的V型槽變?yōu)閳D2所示的U型槽，槽底部圓弧半徑值為切割用鋼線的半徑值，槽的兩側(cè)壁仍為V型。由于在切割過(guò)程中鋼線會(huì)磨損，因此在導(dǎo)輪入線口與出線口位置的鋼線直徑不同（視切割的硅塊長(zhǎng)度不同，約相差8-15μm，），需根據(jù)鋼線的磨損情況進(jìn)行圓弧半徑值的補(bǔ)償，例如，鋼線初始直徑為130μm，切割至出線口時(shí)線損10μm，則出線口導(dǎo)輪直徑為120μm，而入線口與出線口之間的導(dǎo)輪槽底部半徑值則需要進(jìn)行分段補(bǔ)償。這樣，導(dǎo)輪槽的底部直徑與鋼線的直徑相吻合，因此鋼線在槽內(nèi)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)較穩(wěn)定，不會(huì)出現(xiàn)鋼線左右移動(dòng)的情況，切出的硅片外觀質(zhì)量良好，不會(huì)出現(xiàn)鋸痕或TTV超差片，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。與此槽型相匹配的兩側(cè)壁夾角范圍為45°-60°，槽深為180μm-200μm，角度與槽深的關(guān)系為：角度越小則槽深越深。當(dāng)鋼線在新型槽內(nèi)傳動(dòng)時(shí)，導(dǎo)輪槽磨損程度減小，延長(zhǎng)了導(dǎo)輪的使用壽命，避免頻繁更換導(dǎo)輪，提高了工作效率。