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石英坩堝:光伏行業(yè)不可或缺的容器!
日期:2022-05-30   [復(fù)制鏈接]
責(zé)任編輯:sy_zhuzelin 打印收藏評(píng)論(0)[訂閱到郵箱]
近日,晶盛機(jī)電子公司寧夏鑫晶年產(chǎn)16萬(wàn)只的石英坩堝生產(chǎn)基地,一期年產(chǎn)4.8萬(wàn)只大尺寸石英坩堝項(xiàng)目正式投產(chǎn),二期正式簽約。此次石英坩堝項(xiàng)目的投產(chǎn),將解決國(guó)內(nèi)光伏和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高品質(zhì)關(guān)鍵耗材緊缺的現(xiàn)狀,極大滿足市場(chǎng)需求。


圖片來(lái)源:晶盛機(jī)電

01

認(rèn)識(shí)石英坩堝


石英坩堝實(shí)際上就是一種容器,是由高純石英砂通過(guò)模具定型,使用電弧法高溫制作而成。具有耐高溫、使用時(shí)間長(zhǎng)、高純度等特點(diǎn),主要使用于半導(dǎo)體與太陽(yáng)能拉制單晶硅棒的輔助性耗材。

石英坩堝可在1450℃以下使用,分為透明和不透明兩種。最早期的石英坩堝是全部透明的,這種透明的構(gòu)造容易導(dǎo)致不均勻的熱傳輸條件,增加晶棒生長(zhǎng)的困難度,所以這種坩堝被淘汰使用。


不透明石英坩堝(圖片來(lái)源:Est官網(wǎng))

目前,半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅、發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。半透明石英坩堝具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。

02

石英坩堝的生產(chǎn)工藝


根據(jù)配方工藝的不同,石英坩堝生產(chǎn)成型一般采用注漿或注凝兩種方法。這兩種生產(chǎn)工藝大體相同。但由于生產(chǎn)方法存在一定的差異性,兩種工藝流程對(duì)配套設(shè)備選型還是有所不同。

(1)注漿法生產(chǎn)工藝

注漿法成型在陶瓷的生產(chǎn)工藝中歷史悠久,較為傳統(tǒng),掌握起來(lái)相對(duì)容易,是目前較普遍采用的生產(chǎn)成型方法。注漿法在石英坩堝生產(chǎn)中得到普遍應(yīng)用。

注漿法一般生產(chǎn)工藝流程:注漿成型——脫模——翻轉(zhuǎn)——固化——初檢——修坯——干燥——煅燒——修邊——終檢——包裝

注漿法生產(chǎn)主要配套生產(chǎn)設(shè)備: 不銹鋼模具——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——脫模翻坯機(jī)——脫模平臺(tái)——固化爐——初檢線——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——少空氣干燥器——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——煅燒爐——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——修邊機(jī)——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——終檢進(jìn)坯臺(tái)——終檢翻坯機(jī)——燈光檢測(cè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)——燈光終檢臺(tái)——終檢出坯線——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——包裝

由于注漿成型脫模時(shí)間一般為8小時(shí),成型效率相對(duì)較低,產(chǎn)量不宜過(guò)大。

(2)注凝法生產(chǎn)工藝

注凝法成型在石英坩堝生產(chǎn)中剛剛興起,工藝難度相對(duì)較大,不太容易掌握,在石英坩堝的生產(chǎn)工藝中使用相對(duì)較少。但這種方法相對(duì)于注漿法能大大縮短脫模時(shí)間,提高脫模效率,在大規(guī)模生產(chǎn)中具有一定優(yōu)勢(shì)。

注凝法在石英坩堝生產(chǎn)中不易掌握,目前在國(guó)內(nèi)有少數(shù)幾家公司在使用該方法。由于在大規(guī)模生產(chǎn)中具有一定優(yōu)勢(shì),它是未來(lái)生產(chǎn)工藝的發(fā)展方向。

注凝法一般生產(chǎn)工藝流程:注漿成型——脫模——翻轉(zhuǎn)——初檢——修坯——干燥——煅燒——修邊——終檢——包裝

注凝法生產(chǎn)主要配套生產(chǎn)設(shè)備:不銹鋼模具——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——脫模翻坯機(jī)——脫模平臺(tái)——初檢線——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——少空氣干燥器——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——煅燒爐——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——修邊機(jī)——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——終檢進(jìn)坯臺(tái)——終檢翻坯機(jī)——燈光檢測(cè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)——燈光終檢臺(tái)——終檢出坯線——懸臂吸盤(pán)吊裝機(jī)——包裝

(3)工藝對(duì)比

由于注漿法成型是靠石膏模吸水來(lái)干燥,脫模時(shí)間較長(zhǎng),生產(chǎn)效率較低。注凝法成型是采用鋼模,但在產(chǎn)品配料中配有添加濟(jì),坯體在生產(chǎn)過(guò)程中能快速凝固成型,提高強(qiáng)度,易于快速脫模,且脫模后坯體強(qiáng)度較高,不需要通過(guò)固化爐進(jìn)行固化。但這樣產(chǎn)品在煅燒過(guò)程中,這些有機(jī)物添加劑會(huì)分解揮發(fā),從而降低產(chǎn)品的密度與強(qiáng)度。目前國(guó)內(nèi)提高成品密度與強(qiáng)度的方法基本得到了解決。由以上對(duì)比分析知,兩種生產(chǎn)工藝使用配套設(shè)備基本相同,僅僅是注凝法不需要固化爐對(duì)坯體進(jìn)行固化,工藝流程及其他配套設(shè)備基本相同。

03

石英坩堝的使用及維護(hù)


石英坩堝主要化學(xué)成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用;

石英坩堝對(duì)熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱;

石英坩堝容易破碎,使用時(shí)要特別小心;

石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212℃烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過(guò)800℃。

04

石英坩堝需求量分析


從使用壽命上看,石英坩堝壽命理想狀態(tài)400小時(shí)+,較差情況為300小時(shí)左右。(備注:N型硅片對(duì)應(yīng)石英坩堝的使用壽命比P型低50-100小時(shí),即P型硅片的石英坩堝壽命約400小時(shí),N型硅片的石英坩堝壽命為300-350小時(shí))。

一臺(tái)單晶爐的石英坩堝用量:目前P型硅片一臺(tái)單晶爐平均一個(gè)月使用2個(gè)石英坩堝(720小時(shí)),一年使用24個(gè)石英坩堝。
1GW硅片的石英坩堝用量:1GW182硅片產(chǎn)能對(duì)應(yīng)100臺(tái)單晶爐,則1GW硅片出貨對(duì)應(yīng)使用約2400個(gè)石英坩堝。

小結(jié)


石英坩堝主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域。光伏行業(yè)由于產(chǎn)品精密度程度高、技術(shù)發(fā)展快,對(duì)石英坩堝的純度、精度要求日益嚴(yán)格。我國(guó)的石英制品行業(yè)起步較晚,只有少數(shù)規(guī)模化企業(yè)的石英坩堝技術(shù)方面達(dá)到先進(jìn)水平。在技術(shù)更迭方面,隨著下游行業(yè)技術(shù)不斷迭代,石英坩堝制造企業(yè)需與時(shí)俱進(jìn),及時(shí)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)出滿足下游領(lǐng)域需求的產(chǎn)品,滿足下游客戶(hù)降本增效的要求,才能保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 

原標(biāo)題:石英坩堝:光伏行業(yè)不可或缺的容器!
 
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