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3 切斜原因分析

3.1 砂漿

砂漿是由碳化硅和切割液按照一定比例配制而成的，具有一定的粘度和密度值，因此碳化硅和切割液的質(zhì)量直接決定砂漿的質(zhì)量和切割能力。

1、切割液。衡量切割液性能的主要參數(shù)包括：（1）密度。切割液的密度越大，其與碳化硅的混合性能就越強(qiáng)，所以在選擇切割液時(shí)，主要選擇液體密度高于1.0g/cm3的液體。（2）揮發(fā)性。在線鋸切割過(guò)程中，切割瞬間散發(fā)出的熱量較大，如果切割液的沸點(diǎn)較低（或揮發(fā)度較高），則切割過(guò)程損耗較大，難以保證切割出的產(chǎn)品質(zhì)量。（3）粘度。切割液的粘度是保證切割液具有良好懸浮性和冷卻性的重要性能。由于碳化硅顆粒需包裹在鋼線表面，且切割過(guò)程中碳化硅與硅塊摩擦過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量熱量，切割液的流動(dòng)會(huì)帶走熱量起到冷卻作用。如果切割液粘度小則不能保證碳化硅顆粒均勻懸浮分布，粘度大則會(huì)導(dǎo)致砂漿流動(dòng)性差，不能有效降低而造成灼傷片或者出現(xiàn)斷線。（4）表面張力。眾所周知，液體的表面張力越低，在固體表面的鋪展性越好。這一性能決定了砂漿在鋼線表面的附著量。（5）酸堿性。切割砂漿的酸堿性，不僅直接影響硅片的最后洗滌過(guò)程，還影響硅片表面的微觀加工質(zhì)量及設(shè)備的使用壽命，故切割液的酸堿性不易過(guò)強(qiáng)。

2、碳化硅顆粒切割能力不足。衡量碳化硅品質(zhì)的幾個(gè)主要的參數(shù)包括：（1）碳化硅的硬度。由于在切割過(guò)程中碳化硅顆粒不斷對(duì)硅塊進(jìn)行磨削，如果碳化硅硬度低，則碳化硅的棱角容易被磨圓，降低切割能力，易導(dǎo)致出現(xiàn)切斜。碳化硅的硬度是由其生產(chǎn)原料決定的，主要與冶煉時(shí)間有關(guān)。（2）碳化硅的粒型。碳化硅的粒型影響硅片表面的光潔度，如果顆粒當(dāng)中長(zhǎng)條狀或扁平狀的顆粒較多，則在與硅塊摩擦的過(guò)程中容易斷裂，從而使切割能力下降，造成硅片切斜的發(fā)生。（3）碳化硅的粒徑。碳化硅中顆粒較大或較小都會(huì)對(duì)切割質(zhì)量造成不利影響，例如粒徑過(guò)大會(huì)對(duì)硅片造成劃傷，粒徑小則不利于后期砂漿的回收再利用，所以都會(huì)要求中值粒徑在某一范圍內(nèi)，中粒徑的小偏差、高穩(wěn)定將嚴(yán)重影響硅片的厚度、平行度。（4）碳化硅的圓形度。圓形度表示的是碳化硅棱角的鋒利程度，及切割能力的強(qiáng)弱。如果顆粒中針狀、片狀顆粒多，則圓形度較小，而等積形顆粒多，顆粒表面光滑則圓形度大。在硅片切割時(shí)，如果圓形度較大，即棱角平滑，會(huì)使切割能力不足導(dǎo)致硅片鋸痕或切斜的產(chǎn)生。（5）微粉含量。碳化硅的制作過(guò)程中微粉很難處理干凈（微粉一般指粒徑小于2μm的顆粒），尤其是在線砂漿回收過(guò)程是物理回收，離心機(jī)的離心作用難以有效將微粉與大顆粒分離開(kāi)，如果砂漿中微粉量過(guò)多，切割過(guò)程中微粉會(huì)包裹在碳化硅表面，從而使碳化硅的切割能力下降，容易造成切斜。因此，一方面，要保證每次更新砂漿前，漿料缸中的舊砂漿抽干凈，防止；同時(shí)要定期檢測(cè)在線回收重液中的微粉含量參數(shù)，保證砂漿質(zhì)量。