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3.2 導(dǎo)輪

導(dǎo)輪是硅片切割的重要載體，其涂層為聚氨酯材料，當(dāng)使用一段時(shí)間之后，導(dǎo)輪槽會(huì)發(fā)生磨損，槽深變深，槽的根部直徑也會(huì)變大，與鋼線直徑不能完全吻合，因此在切割過程中，鋼線在槽內(nèi)會(huì)來回?cái)[動(dòng)，導(dǎo)致鋼線間距不均勻變化；若槽壁磨損嚴(yán)重，則會(huì)造成鋼線跳出原來的線槽到另外的線槽中，導(dǎo)致切斜。此時(shí)，應(yīng)將導(dǎo)輪換下，使用新導(dǎo)輪。另一方面，每次切割結(jié)束后，會(huì)有部分碳化硅和其它物質(zhì)沉積在導(dǎo)輪槽內(nèi)，若不及時(shí)清理，會(huì)造成各導(dǎo)輪槽深淺不一，線網(wǎng)容易出現(xiàn)高低線，同時(shí)會(huì)加劇導(dǎo)輪槽的磨損。為減小對導(dǎo)輪的磨損，每次切割結(jié)束后，使用銅刷刷導(dǎo)輪，將導(dǎo)輪槽內(nèi)的碳化硅進(jìn)行清理，然后通過氣槍使用壓縮空氣將導(dǎo)輪槽吹干凈，減少導(dǎo)輪槽內(nèi)碳化硅顆粒和其它物質(zhì)的沉積。

3.3 砂漿內(nèi)有雜物

在硅片切割過程中，不可避免會(huì)有碎導(dǎo)向條、碎片等雜物掉落到機(jī)床切割室內(nèi)，若砂漿過濾裝置如切割室過濾網(wǎng)、漿料缸過濾桶等過濾不徹底，雜物會(huì)混入砂漿中流入漿料缸，容易堵塞熱交換器或漿料嘴。熱交換器堵塞，會(huì)導(dǎo)致機(jī)床不斷報(bào)警，同時(shí)砂漿流量達(dá)不到設(shè)定要求，而漿料嘴堵塞則會(huì)造成斷流，這都會(huì)造成切割能力不足進(jìn)而導(dǎo)致切斜?？刹扇〉拇胧┦潜ＷC過濾網(wǎng)、過濾桶等過濾裝置完好無損，同時(shí)可在過濾桶內(nèi)安裝過濾袋實(shí)現(xiàn)二次過濾以進(jìn)一步提高砂漿質(zhì)量，每切割完一鋸硅片更換一個(gè)新的過濾袋。此外，在切割過程中，由于鋼線的磨損會(huì)產(chǎn)生大量鐵粉混入砂漿中，切割完的砂漿進(jìn)行回收的過程中，此部分鐵粉不能被有效分離出來，為此，可在過濾袋內(nèi)放置一根大小合適的磁棒用來吸鐵粉，降低砂漿中的鐵粉含量。

3.4 鋼線張力

鋼線張力是硅片切割工藝的核心要素，直接影響鋼線的擺動(dòng)情況，進(jìn)而影響鋼線之間的間距及線網(wǎng)的平整度。切割過程中，收線軸和放線軸的鋼線都要保持在一定的張力范圍內(nèi)，一般0.12mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為21N-24N，收線軸張力設(shè)定范圍為21-24N；0.13mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為22N-25N，放線軸張力設(shè)定范圍為21-24N。張力過大或過小都不利于懸浮在鋼線上的碳化硅顆粒進(jìn)入鋸縫進(jìn)行切割。鋼線張力正常波動(dòng)范圍為±1N。

4 小結(jié)

通過從砂漿、導(dǎo)輪、雜物、鋼線張力方面對影響晶棒切斜的原因進(jìn)行分析，可以有效避免切斜情況的出現(xiàn)，對提高硅片合格率、降低硅片加工成本有重要的意義。目前硅片依然是晶體硅光伏發(fā)電中成本最昂貴的部分之一。因此，減少硅料消耗，提高晶棒的切割質(zhì)量，是當(dāng)前降低硅片切割生產(chǎn)成本的目標(biāo)。